深冷空分制氮：可生產氮氣和液氮，能滿足需要液氮的工藝要求且可貯存。但設備復雜、占地面積大，基建和設備一次性投資多，運行成本高，產氣慢，安裝要求高、周期長，宜于大規模工業制氮，中、小規模制氮不經濟。 分子篩空分制氮（PSA）：工藝流程簡單、自動化程度高、產氣快，能耗低，產品純度可在較大范圍內調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強，在 1000Nm3/h 以下制氮設備中頗具競爭力。 膜空分制氮：結構更為簡單、體積更小、無切換閥門、維護量更少、產氣更快、增容方便，特別適宜于氮氣純度≤98% 的中、小型氮氣用戶，有最佳功能價格比，但氮氣純度在 98% 以上時，與相同規格的 PSA 制氮機相比價格要高出 15% 以上。